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Superharte TiN, Si3N4 Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung

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"Superharte TiN, Si3N4 Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung"
"Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung"

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This is a placeholder reference for a Topic entity, related to a WorldCat Entity. Over time, these references will be replaced with persistent URIs to VIAF, FAST, WorldCat, and other Linked Data resources.

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Titannitrid Siliciumnitrid Mehrschichtsystem Nanostrukturiertes Material Magnetronsputtern.

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Titannitrid Siliciumnitrid Schichtverbundwerkstoff Nanokomposit PECVD-Verfahren Online-Publikation.

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http://worldcat.org/entity/work/id/2044842784

Superharte TiN, Si3N4 Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung

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